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MEMSプロジェクト

基本情報

技術分野
  • 新製造技術
プロジェクトコード P03025
事業期間:平成15~17年度,予算総額:43.3億円

今後、比較的短期間で大きな市場が形成されると期待されるMEMS(高周波MEMS、光MEMS、センサMEMS)の実用化に必要な製造技術の開発を実施しました。

高精度三次元MEMS

短期的アウトカム概要(5年間の追跡調査により把握した状況)

RF(高周波)スイッチ製造技術では、量産レベル加工精度1%を実現しました。また、開閉回数10億回、パッケージ損失0.09dBも達成し実用性を確認しました。光可動ミラー製造技術では、1.25nm/100μmの平坦ミラーを実現し、ミラー角度2/1000度以下も検出確認するとともに100億回以上の稼働が可能であることを確認しました。超小型MEMSセンサ製造技術では、従来品と比較して体積比1/10、コスト比1/2を実証しました。これらの成果の一部は上市に至っています。

■参画機関(太字が上市・製品化に至った企業)※順不同

  • オムロン
  • オリンパス、
  • 松下電工、
  • 東京大学(平成16年度から)、
  • 九州大学(平成16年度から)、
  • 立命館大学(平成16年度から)

■追跡対象企業のPJ終了後6年目のステージ状況

  • 上市:1
  • 製品化:0
  • 研究・開発を継続中:0
  • 中止・中断:0

最終更新日:平成24年8月31日