NEDO技術開発機構は、平成18年度から平成20年度の3年間、「高集積・複合MEMS製造技術開発事業」を実施いたします。
　本事業は、小型・省電力・高性能・高信頼性の高集積・複合MEMSデバイスを製造できる技術を確立することで、高集積・複合MEMSデバイスの製品化を促進し、2010年にはMEMS関連国内市場1.35兆円確保を目指します。併せて本技術開発を通じて得られた製造技術に関わる知識を集約したデータベースを整備することにより、新たな新規MEMSの産業化を促進し、産業競争力の向上、市場規模の拡大に資することを目標に実施するものです。

記

1. 事業概要
   　本プロジェクトは、MEMS※の「技術戦略マップ」を踏まえ、新製造技術プログラムの一環として、今後成長が期待される市場である自動車、情報通信、安全・安心、環境、医療等において必要不可欠となる小型･省電力･高性能･高信頼性の高集積・複合MEMSの製造技術を開発することを目的とします。具体的には、ナノ機能との融合、半導体との一体化およびMEMS間の結合といった重要な技術課題に対して、選択的・集中的に取組み、さらに新たな産業化を促進するための環境整備も行います。
   　※MEMS(Micro Electro Mechanical Systems：微小電気機械システム)：微細な電気要素と機械要素を一つの基板上に組み込んだ部品をいい、半導体製造技術やレーザー加工技術等各種の微細加工技術を用いて製造される。情報通信、医療・バイオ、自動車など多様な分野における小型・高精度で省エネルギー性に優れた高性能のキーデバイスとして期待されている。
   
   
2. 研究実施期間及び事業規模

   （1）	研究開発期間 平成18年度から平成20年度までの3年間
   （2）	事業規模 平成18年度の予算は1090百万円

   
   
3. 委託・助成先について
   　平成18年3月28日〜 5月9日の公募期間中に応募のあった22件の申請から、外部有識者からなる採択審査委員会（別紙1【PDF：73KB】）の厳正な評価及び審査を経て、以下の技術課題について委託先、助成先（別紙2【PDF：95KB】、3【PDF：95KB】）を決定いたしました。
   

   （1）	MEMS ／ナノ機能の複合技術の開発　（委託： 3件、助成： 1件）
   （2）	MEMS ／半導体の一体形成技術の開発　（委託： 3件、助成： 4件）
   （3）	MEMS ／ MEMS の高集積複合技術の開発　（委託： 1件、助成： 3件）
   （4）	高集積・複合 MEMS 知識データベースの整備　（委託： 1件）

   
   
4. お問い合わせ先
   NEDO技術開発機構
   機械システム技術開発部　浅海、齋藤
   TEL 044-520-5241