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平成21年度「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」の事後評価報告書

  NEDOでは、研究評価委員会にてプロジェクト毎に当該技術の外部の専門家・有識者等によって構成される研究評価分科会を設置し、被評価対象プロジェクトの研究評価を行っています。
  本書は、研究評価分科会において評価報告書案を策定し、研究評価委員会に諮り確定されたものです。

部署名 機械システム技術開発部 プロジェクトコード P06022

高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト事後評価報告書