平成21年度「高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト」の事後評価報告書
NEDOでは、研究評価委員会にてプロジェクト毎に当該技術の外部の専門家・有識者等によって構成される研究評価分科会を設置し、被評価対象プロジェクトの研究評価を行っています。
本書は、研究評価分科会において評価報告書案を策定し、研究評価委員会に諮り確定されたものです。
高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト事後評価報告書
本書は、研究評価分科会において評価報告書案を策定し、研究評価委員会に諮り確定されたものです。
部署名 | 機械システム技術開発部 | プロジェクトコード | P06022 |
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高集積・複合MEMS製造技術開発プロジェクト事後評価報告書
- page1~212(12.1MB)
- page113~332(7.89MB)
- page333~405(6.73MB)
- page406~521(8.63MB)
- page522~712(10.5MB)
- page713~898(8.74MB)
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