成果報告書詳細
管理番号20110000000705
タイトル平成18年度~平成21年度成果報告書 平成18年度第2回採択産業技術研究助成事業 06B44530a プラズマ集合体とマイクロ波・ミリ波の相互作用場による新規機能発現及び通信デバイス・製造プロセス応用 平成21年度最終
公開日2011/5/17
報告書年度2006 - 2009
委託先名国立大学法人京都大学酒井道
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約通信デバイス応用に関して、局在表面波導波現象によるマイクロ波制御系を実験的に実証した。2次元格子状に整列した円筒状プラズマ室に対して、個々独立にプラズマ生成を強度調整も含めて可能であることを示した。そして、基本的な導波・合成現象を確認し、複雑関数系の実現へ向けた検討を試行した。製造プロセス応用に関しては、共振構造を用いた大気圧マイクロ波プラズマを用いて、実際の局所プロセスの模擬として、擬似成膜プロセスの局所化を実現した。
英文要約Multi plasmas, which were periodically aligned and controlled in space and time, played roles of a variable microwave waveguide, composed of chains of localized surface waves, for future flexible communication devices. We also observed localized plasma spoof deposition processes using a resonator-enhanced low-pressure atmospheric pressure Ar plasma.
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