成果報告書詳細
管理番号20110000001233
タイトル平成22年度成果報告書 戦略的国際標準化推進事業 標準化研究開発 小型ジャイロMEMSデバイスの性能評価方法に関する標準化
公開日2011/7/28
報告書年度2010 - 2010
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所
プロジェクト番号P04002
部署名技術開発推進部
和文要約「小型ジャイロMEMSデバイスの性能評価方法に関する標準化」において、小型ジャイロの性能評価方法として、ISOに定められたジャイロの校正規格であるISO 16063-15(Methods for the calibration of vibration and shock transducers - Part 15: Primary angular vibration calibration by laser interferometry)に準じた測定方法、及び、角度標準及び時間標準に連鎖した測定方法を検証した。本研究では、検証のために、自己校正機能付きロータリーエンコーダを備えた角速度校正装置を整備し、レーザ干渉計との組み合わせにより、2つの手法を同時に実現する校正・評価装置を開発した。また、開発した装置を用いて、ジャイロのスケールファクタの静的及び動的特性評価を実施した。その結果、規格化すべき特性評価方法の妥当性、及び、得られる計測値の信頼性を確保するための実装法の妥当性を確認することができた。
英文要約In our research project entitled “Standarization of method to measure the characteristics of micro gyro MEMS device”, two methods, measurement method specified in ISO 16063-15(Methods for the calibration of vibration and shock transducers - Part 15: Primary angular vibration calibration by laser interferometry)and measurement method to be traceable to angle and time standards, were verified to measure characteristics of gyro device. For this purpose, angular velocity calibration system with self calibratable rotary encoder as a reference standard of angle was newly developed, and was combined with laser interferometer to implement above two methods. Static and dynamic characteristics for scale factor of gyro device were measured by using the calibration system. As a result, we verified that measurement method for characteristics of gyro device, and implementation method to guarantee measurement reliability are valid.
ダウンロード成果報告書データベース(ユーザ登録必須)から、ダウンロードしてください。

▲トップに戻る