成果報告書詳細
管理番号20110000001263
タイトル平成22年度成果報告書 戦略的国際標準化推進事業 標準化研究開発 MEMSにおける形状計測法に関する標準化
公開日2011/7/28
報告書年度2010 - 2010
委託先名国立大学法人神戸大学 国立大学法人大阪大学 国立大学法人熊本大学 国立大学法人東京工業大学 独立行政法人産業技術総合研究所
プロジェクト番号P04002
部署名技術開発推進部
和文要約NEDO「戦略的国際標準化推進事業/標準化研究開発/MEMSにおける形状計測法に関する標準化」において、代表的なMEMS構造の一つである三次元トレンチ構造体の基準試験片を作製するとともに、5種類の形状寸法計測法によりトレンチ寸法計測を実施し、それぞれの構造体スケールにおける適した形状計測法の選定を行った。また、三次元トレンチ構造体の形状寸法表示法について素案の提案をした。さらに、ISO、ASTM、SEMIの形状寸法計測・表示法に関する規格調査を行った。とくに、ASTM規格およびSEMI 規格では薄膜構造体のステップ高さの計測を目的にしたものであり、MEMS3次元構造体を対象とした規格とは異なるものであった。次年度は、MEMSにおける形状計測法に関する国際標準規格案として文書化し、IEC/TC47/SC47F(Micro-electromechanical systems)にNPとして提案する予定である。
英文要約In this project entitled “Specifications for micro-geometric measurement & expression of MEMS 3D structures” supported by NEDO Research and Development, 3D micro trench specimens were prepared and their geometry were measured by five kinds of methods; FE-SEM, Optical Microscope, Scanning White Light Interferometer, Laser Microscope and Atomic Force Microscope, in order to select a useful measurement method for the micro trench structure. Here, the expression for the geometry of 3D micro trench structure was proposed on the basis of measurement results. For new proposal of specifications for micro-geometric measurement & expression in MEMS 3D structures to IEC/TC47/SC47F (Micro-electromechanical systems), we have also investigated the existing specifications for micro-geometric measurement in ISO, ASTM and SEMI.
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