成果報告書詳細
管理番号20110000001305
タイトル*平成22年度中間年報 ナノテク・先端部材実用化研究開発/カーボンオニオンの高面圧下超低摩擦の発現を応用した難加工における塩素フリー化(2)
公開日2011/8/30
報告書年度2010 - 2010
委託先名神港精機株式会社
プロジェクト番号P05023
部署名電子・材料・ナノテクノロジー部
和文要約和文要約等以下本編抜粋:1.
研究開発の内容及び成果等
1-1.
要約
PIGプラズマを応用したOLC合成装置を設計し、2010年6月末に完成した。各種の合成条件を検討した結果、炭化水素系ガスを用いて合成温度1400℃~1900℃で多量のOLCが合成できた。OLC合成量は8g/hであり、当初目標の5g/hを超えた。また、OLCの品質管理として、透過型電子顕微鏡(TEM)以外にX線回折装置やラマン分光分析装置が有効であることもわかった。
1-2.
OLC合成装置の構成
OLC合成装置の外観を右に示す。PIGプラズマガンをチャンバー上部に搭載し、低圧で高密度のプラズマを形成して炭化水素系ガスを効率良く分解できる。OLCはチャンバー中央に配置したルツボに堆積させた。
英文要約We developed the PIG plasma type onion-like carbon (OLC) synthesis equipment in June 2010.
Transmission electron microscope (TEM) observation showed that OLC was included abundantly in the carbon-powder.Synthesis rate of carbon-powder was 8g / h.Raman spectra of the carbon-powder agreed with those of OLC.
X-ray diffraction patterns of the carbon-powder also are consistent with those of the OLC diffraction pattern.From these results, it is considered that X-ray diffraction and Raman spectroscopy are effective means for OLC quality control.
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