成果報告書詳細
管理番号20110000001306
タイトル*平成22年度中間年報 ナノテク・先端部材実用化研究開発/カーボンオニオンの高面圧下超低摩擦の発現を応用した難加工における塩素フリー化(4)
公開日2011/8/30
報告書年度2010 - 2010
委託先名株式会社ティサポート
プロジェクト番号P05023
部署名電子・材料・ナノテクノロジー部
和文要約和文要約等以下本編抜粋:1.
研究開発の内容及び成果等 本研究開発項目では,新しいプロトタイプのマイクロ波プラズマCVD装置を設計・製作し,CO2からのカーボンオニオン合成技術開発を目指した。具体的には,ナノ炭素を作製する為の最適なパラメータを決定づける為に,より正確なガス流量(±1%単位制御),加熱温度(0.1℃単位制御),真空度(100Pa単位制御)にて実験を行なった.この実験により、ガス流量CO2 80sccm H2 20sccm 加熱温度980℃ 真空度1100paの最適パラメータが決定づけられた。
また,マイクロ波プラズマCVD装置のみの実験で,走査電子顕微鏡で観察したところFig.1に示すような繊維状のナノ炭素が作製できる事が分った。
英文要約Because CO2 is a stable gas, the decomposition of CO2 and deposition of carbon derivatives accompany considerable difficulties. In fact, within a number of our test run, the only nano-carbon with clear structure is an amorphous fiber. It was indicated last year that these amorphous fibers were transformed into carbon onions by annealing at high temperatures. However, this process was not satisfactory, and requires extra energy of heating. It was found in the present experiments that the irradiation of YAG laser during the microwave plasma CVD of CO2 was quite effective in synthesizing carbon onions. Transmission electron microscope observation of deposits created by YAG laser assisted microwave plasma CVD of CO2 showed the existence of carbon onions. Both pulsed YAG laser and continuous YAG laser were effective. A microwave plasma CVD, which is suitable for manufacturing carbon onions from CO2, is being studied.
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