成果報告書詳細
管理番号20110000001302
タイトル平成22年度成果報告書 戦略的国際標準化推進事業 標準化研究開発 周波数制御・選択に係るMEMSデバイスの評価方法に関する標準化
公開日2011/9/9
報告書年度2010 - 2010
委託先名日本大学理工学部理工学研究所
プロジェクト番号P04002
部署名技術開発推進部
和文要約NEDO研究開発事業「周波数制御・選択に係るMEMSデバイスの評価方法に関する標準化」において、MEMS非線形測定法とGHz帯測定法について検討した。MEMS非線形測定法については、確立した測定法でのラウンドロビンテストによる検証を行い、IEC TC49へNP提案を行った。GHz帯測定法の確立については、従来の測定法では対応できないため、標準測定システムを構築し、ラウンドロビンテストにより検証を行った。確立した測定法を基に国際標準化を進め、平成23年3月にIEC TC49へNP提案を行った。
英文要約In our research project entitled “Standardization of evaluation method of the MEMS devices involved in frequency control and selection” supported by NEDO Research and Development Promotion, we examined about the measurement method of non-linearity in the MEMS devices and the measurement method of the characteristics in the GHz-band Crystal resonators. In the measurement method of non-linearity in the MEMS devices, we carried out the verification of the established method. Then, the measurement method was submitted as a New Work Item Proposal to IEC TC49. To establish the measurement method of the GHz band crystal resonator, we developed the standard measurement system and carried out the verification of the method with round-robin test. Furthermore, the GHz band measurement method was submitted as a New Work Item Proposal to IEC TC49 in March, 2011.
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