成果報告書詳細
管理番号20110000000452
タイトル平成21年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09B36002a 高効率成膜プロセスを用いた機能性酸化物薄膜の開発および調光ミラーデバイスへの応用と優れた耐環境性能を有する構造開発 平成21年度中間
公開日2011/10/12
報告書年度2009 - 2009
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所田嶌一樹
プロジェクト番号P00041
部署名研究開発推進部
和文要約本研究期間の主な成果は以下の通りである。
酸化物系薄膜材料の省使用化技術開発・代替材料開発
・固体電解質層:酸化タンタル薄膜の資源的側面およびコスト等を勘案し、現状よりも25%の材料使用量の削減を行っても調光性能を有する調光ミラーデバイスを作製した。
・透明導電膜:酸化インジウム・スズ代替としてAZOやGZOなど酸化亜鉛系薄膜の適用を勘案し、特にAZO薄膜が波長1000nm以上の赤外領域において高い透過性を示す作製条件を見出した。
調光ミラーデバイスの環境性能把握による耐環境性能の向上に資する構造開発
・恒温恒湿槽を用いて一定温湿度にデバイスを保持し、加速試験的に環境に対する影響を調査した。特に多湿雰囲気がデバイスを顕著に劣化させることが分かった。
・上記を踏まえ、デバイス上部に保護層を構築することで、同条件下の加速試験においても、ほとんど劣化がないデバイスを作製した。
英文要約Main achievements are as follows:
・The switchable mirror device that showed optical switching property was fabricated even if it has 25% less amount of tantalum oxide thin film than that of conventional device.
・AZO that has high transmittance at the range of infrared ray regions was fabricated as transparent conductive thin film.
・The durability of the device for environment was investigate by using a thermostat/humidistat bath. High humidity in atmosphere significantly affected to the durability of the device.
・The device that has surface protection layer was developed.
It showed higher durability than that of conventional device.
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