成果報告書詳細
管理番号20110000001510
タイトル平成22年度成果報告書  平成20年度第1回採択産業技術研究助成事業 08A23003c マイクロシステムのオンチップ集積化を実現するアセンブリフリー回転傾斜露光法の開発と再生医療への応用 平成22年度中間
公開日2011/10/12
報告書年度2010 - 2010
委託先名香川大学鈴木孝明
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約提案する単一マスク回転傾斜露光法について、プロジェクト初年度からの継続事項を中心に、1.露光プロセスの発展的検討(多階層化・複雑化・大面積化)、2.シミュレータの開発、3.応用検討を行った。
英文要約For the proposed assembly- free photolithography,
1) Extension of working area of the proposed method,
2) Generalization of the simulator,
3) Application for micro-fluidic systems,
were carried out.
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