成果報告書詳細
管理番号20110000001647
タイトル平成22年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A16003d UV硬化樹脂の光誘起相分離を利用した革新的フレキシブル低誘電率膜成形プロセスの開発 平成22年度中間
公開日2011/12/13
報告書年度2010 - 2010
委託先名国立大学法人京都大学瀧健太郎
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約本PJで開発したフレキシブル低誘電率膜作成プロセスの実用化を目指し、キャスト膜の乾燥時間が誘電率と誘電正接に及ぼす影響を検討した。その結果、誘電率と誘電正接は乾燥時間の増加に伴い増加することが明らかになった。このため敢えて乾燥工程を取り入れる必要はなく、キャスト後、迅速に多孔化プロセスを適用することが有効であると言える。
英文要約Effect of pre-drying on the porous structure, the dielectric constant, the loss tangent was investigated using the developed innovative process for production of flexible low-dielectric constant film. The drying caused to increase the dielectric constant and the loss tangent while the pore size was decreased. There is a trade-off between them.
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