成果報告書詳細
管理番号20110000001654
タイトル平成22年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A23003a エンジンの潤滑油粘性モニタリングや流体プラントの多点プロセス粘性計測を実現する超小型粘性MEMSセンサの開発 平成22年度中間
公開日2012/2/21
報告書年度2010 - 2010
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所山本泰之
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約粘性MEMSセンサの開発を進めた.基本構造の製作方法がほぼ確立された.粘性センサの測定原理の検証実験を行った.ダブルスパイラル形状のシンプルタイプの粘度センサの構造を発案した.シンプルタイプのセンサチップを用いて,検証実験を行い,標準液の校正値と概ね一致する結果を得られた.これにより,粘度の測定原理が適用可能であることが確認された.具体的には,次の成果を得た.
1:粘度測定原理の確立
・テスト装置を用いてセンサチップで粘度の測定が可能になった.
2:基本構造の製作方法の確立
・Deep-RIEなどを用いて再現性よく製作することが可能になった.
3:ひずみゲージの製作方法とセンサパッケージの検討
・ひずみゲージ用のフォトマスクを設計し,センサパッケージとしてピエゾユニットを試作した.
英文要約The development of viscosity MEMS sensor was advanced. The measurement principle of the sensor was verified by using a test system which is applied a laser displacement sensor. A new structure of the sensor of spiral shape was conceived. The experimental results of the verification roughly agree with the calibration value of the standard reference liquid. The following result was achieved.
It is possible to measure the viscosity of reference liquid by the sensor chip with a test system.
It came to be able surely to produce the basic structure of the sensor.
The photo mask for the strain gauge was designed. The piezo unit was made for trial purposes as a sensor package.
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