成果報告書詳細
管理番号20110000001634
タイトル平成22年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09B36002a 高効率成膜プロセスを用いた機能性酸化物薄膜の開発および調光ミラーデバイスへの応用と優れた耐環境性能を有する構造開発 平成22年度中間
公開日2012/3/13
報告書年度2010 - 2010
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所田嶌一樹
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約酸化物系薄膜材料の省使用化技術開発・代替材料開発
・酸化タンタル薄膜の材料使用量:80%程度削減、プロセス時間:70%程度削減を達成した。
・透明導電膜:各種材料の適用可能性を調査し、IGZOを用いることでスイッチング幅50%以上ならびに最大透過率を30%以上向上させた。
調光ミラーデバイスの環境性能把握による耐環境性能の向上に資する構造開発
・恒温恒湿槽を用いた加速試験によりデバイスの耐候性を調査し、種々材料の保護層としての適用可能性を見出した。
英文要約・The device was fabricated even if it has 80% less amount of Ta2O5 thin film than that of conventional device.
・The device with IGZO thin film showed 50% higher switching range and 30% higher maximum transmittance.
・Some kinds of materials and procedure were developed for high durable device in environment by thermostat/humidistat bath.
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