成果報告書詳細
管理番号20110000001642
タイトル平成21年度~平成22年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A25001a 極小径光ファイバプローブを用いたマイクロ三次元形状測定機による微細形状のナノ計測 平成22年度最終
公開日2012/3/13
報告書年度2009 - 2010
委託先名九州産業大学村上洋
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約(1)キャリブレーション手法の開発
・ブロックゲージを用いてプローブ接触子直径の校正を行った.また,標準粗さ片を用いたプローブ接触子形状の校正方法を開発した。
(2)表面間力による測定対称面への付着対策
・表面間力の理論解析を実施した。また、解析結果から一度付着した接触子を測定対象面から引き離すには、プローブ接触子を加振すればよいこと、また、液架橋力の影響が大きいことから、接触子への撥水コーティングの適用なども付着対策として有効であることがわかった。基礎実験の結果、プローブを加振することで付着を防止できることを確認した。
英文要約(1) Calibration of probe sphere
・ The diameter of the probe sphere was calibrated using a 1 mm gage block, and the effect of the probe sphere diameter was corrected for measurement of the roughness standard specimen.
(2) Analysis of the surface force
・ The effect of the surface force was analyzed. As a result, the vibrating mechanism was introduced to prevent adhesion of the stylus tip to the hole wall due to static electricity, surface tension of fluids, atomic force, etc. And, the water repellent finishing of the probe sphere was effective in preventing the surface force.
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