成果報告書詳細
管理番号20110000001643
タイトル平成21年度~平成22年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A27006a 静電レンズ一体型多段ゲートフィールドエミッターによるカラムレス電子線顕微鏡の開発 平成22年度最終
公開日2012/3/13
報告書年度2009 - 2010
委託先名国立大学法人静岡大学根尾陽一郎
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約平成22年度7月1日~平成23年度6月30日において,以下の2点について研究を推進し、良好な結果を得る事が出来た.
マイクロカラムに必要不可欠な2つの機能について検討・試作・評価を行い,その性能を確認する事に成功した.
1.放射角の制御:引き出し電極の下部に新たにサプレッサ電極を設ける事で,エミッション放射角を制御可能である事を実証した.サプレッサに電圧を印加する事でチップ先端から放出される電子軌道の開き角を制御可能となった.これにより,マイクロカラムにアパーチャの機能を付加する事が可能となった。
2.電子銃部:マイクロカラムの性能を発揮する為には,低速の平行ビーム形成が要求される,この為、電子銃部の最適設計及び作製を行い必要な仕様とその時に得られるビーム径について計算により解析を行った.これにより決定された電子銃部の構造を実際に作製し,その電子光学特性について評価を行った.
3.プロセス開発:これら複雑な構造を実現する為に必要なのは,正確に制御できるエッチバックプロセスの開発である.プロセスの条件を改良する事で,自由自在に開孔径,位置を制御可能なエッチバックプロセスを確立した.
英文要約We had successfully demonstrated two main themes, which were related to highly functioned micro-column.
First, it is quite important to control open angle of electron beam to get a fine electron beam. We had introduced new suppressor electrode between emitter tip and extractor. And it was proven out that the suppressor could control the emission angle.
Else, in order to realize electron microscope and lithography application, the optimum structure was re-designed; we divided into two part, electron gun and static lens. It was recognized that the low energy parallel beam is a kind of must function as electron gun.
To realize this electron, the structure proposed in this research was discovered. Then the characteristics had been demonstrated.
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