成果報告書詳細
管理番号20110000001677
タイトル平成21年度~平成22年度成果報告書  平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A18010a 巨大トンネル磁気抵抗素子を用いた超高感度磁界センサーの開発 平成22年度最終
公開日2012/4/26
報告書年度2009 - 2010
委託先名国立大学法人東北大学 大兼 幹彦
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約前年度に引き続いて素子の最適化を進めた結果,NiFe/Ru/CoFeBを下部電極フリー層に配置した素子が,最も良好な特性が得られることが明らかとなった。Co2FexMn1-xSiホイスラー合金を用いた素子では,15%/Oeの磁界感度が最大であったが,NiFe/Ru/CoFeBを下部電極フリー層に用いた場合,最大で38%/Oeの磁界感度が得られた。また,製品応用に向けた信頼性評価の基礎データを取得し,製品応用に向けた課題を明らかにすることが出来た。
英文要約We found that the MTJs using NiFe/Ru/CoFeB free layer showed best magnetic sensitivity. Maximum sensitivity of 38%/Oe has been successfully observed, although the maximum sensitivity in MTJs using Heusler alloy was 15%/Oe. In addition, we have investigated reliability of the magnetic sensor devices for the product application.
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