成果報告書詳細
管理番号20120000000697
タイトル平成18年度~平成22年度成果報告書 次世代光波制御材料・素子化技術
公開日2012/7/19
報告書年度2006 - 2010
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所
プロジェクト番号P06032
部署名電子・材料・ナノテクノロジー部
和文要約件名:平成18年度?平成22年度成果報告書(ナノテク部材イノベーションプログラム/エネルギーイノベーションプログラム/ITイノベーションプログラム)/新機能創出ガラスの加工技術開発プロジェクト(研究開発項目次世代光波制御材料・素子化技術)
ビスマス硼酸塩、ビスマス燐酸塩ガラスの基礎的物性を系統的に調べた。イオン交換法によりガラスの低屈伏点化を試みた。干渉露光法によるサブ波長周期構造のパターニング技術を高度化した。サブ波長周期構造を持つ光学素子の性能を評価するソフトウエア及び形状を最適化するソフトウエアを開発した。成型時の材料の変形挙動を分子動力学シミュレーションにより調べた。
英文要約Title: Program to Create an Innovative Components Industry. Development of processing technology of the new function glass creation project. Next-generation Nanostructured Photonic Device and Process Technology (FY2006-FY2010) Final Report
The basic properties of bismuth borate and phosphate glasses have been studied systematically. The deformation temperature was decreased by an ion-exchanging method. The interference exposure method has been sophisticated to pattern periodic subwavelength structures on molds. Simulation software has been developed for the performance evaluation of optical elements with periodic subwavelength structure and for the shape optimization of subwavelength structure. The deformation behavior during glass imprinting has been studied by molecular dynamic simulation.
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