成果報告書詳細
管理番号20120000000963
タイトル平成20年度~平成23年度成果報告書 平成20年度第1回採択産業技術研究助成事業 08E51005a 高性能カーボンナノチューブ薄膜トランジスタの開発 平成23年度最終
公開日2012/10/31
報告書年度2008 - 2011
委託先名国立大学法人名古屋大学 大野雄高
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約フレキソ印刷試験機を用いてCNT TFTの作製を試みた。TFT作製のためには3層の重ね合せ印刷が必要であるが、フレキソ印刷試験機に、2眼の顕微鏡を設置するとともに、ステージにマイクロメータを設置し、20 um程度の精度で重ね合せ印刷を可能とした。CNT薄膜を形成したPEN基板にAgナノ粒子のインクを用いて電極を形成した。印刷速度は6.6 cm/secであり、15x15cm2のPEN基板に3,780個のTFT電極アレイが3 sec以下で形成された。作製したナノチューブTFTは移動度58.7 cm2/Vsであり、高速印刷技術で作製したTFTとしては最も高い値を示した。
英文要約We have fabricated CNT TFTs with flexographic printing technique. Since, for the TFT fabrication, the alignments between each layer are necessary, we added two microscopes and micrometers on the stage. This enables us to align with an accuracy of 20 um. Ag electrodes were formed a CNT thin film on a PEN substrate. An array of 3,780 TFT electrodes was formed on a 15x15 cm2 PEN substrate within 3 sec at printing speed of 6.6 cm/sec. The fabricated CNT TFT showed high mobility of 58.7 cm2/Vs.
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