成果報告書詳細
管理番号20120000001095
タイトル平成23年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A16003d UV硬化樹脂の光誘起相分離を利用した革新的フレキシブル低誘電率膜成形プロセスの開発 平成23年度中間
公開日2012/10/27
報告書年度2011 - 2011
委託先名国立大学法人京都大学 瀧 健太郎
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約ポリイミドを従来法と比較して迅速に多孔化する技術を開発し、その有効性について検討し、実用化の可能性があると判断した。実用化のために大面積の試料を作成することが可能な試作装置の設計を終えており、平成24年度に試作装置を作成することが可能になる。ポリイミドは従来から優れたエレクトロニクス材料として使用されてきており、実績のある材料である。このポリイミドを迅速な方法で多孔化することで比誘電率と誘電正接を低下させることができた。
英文要約A new process of porous polyimide, which enabled us to shorten the process time dramatically, was invented. The process was further investigated whether the process was industrialized, and finally it was concluded that the process has high-potential for industrialization. Now the new process is revised to produce large-area film of porous polyimide for further evaluation of electronics packaging process. The relative dielectric constant is proportionally decreased with the increase of gas volume fraction as indicated by the previous studies.
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