成果報告書詳細
管理番号20120000001113
タイトル平成23年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A23003a エンジンの潤滑油粘性モニタリングや流体プラントの多点プロセス粘性計測を実現する超小型粘性MEMSセンサの開発 平成23年度中間
公開日2012/10/27
報告書年度2011 - 2011
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所 山本 泰之
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約平成23 年度は,振動子の変位を検出するための金属薄膜ひずみゲージをセンサチップ上に形成するための研究と,アクチュエータを含むセンサホルダの開発を行なった.また,粘性センサの新しい測定原理も考案した.具体的には,次の成果を得た.
1.ひずみゲージの製作方法の確立とひずみゲージの検証
・ ひずみゲージを粘性センサ上に形成するプロセスを確立した.
2.センサパッケージの製作
・ ピエゾ,および電磁コイルの2パターンのアクチュエータを含むセンサホルダを製作し,DSPを含む制御系の開発に取り組んだ.
3.自励発振を用いた新しい測定原理
・ 開発中の粘性センサの,リアルタイム性を高めるため,自励発振現象を利用した新しい測定原理を,粘性センサで実現する方法が実現可能であることを明らかにした.
英文要約MEMS based viscosity sensor was developed. The manufacturing method of the basic structure and strain gauge integrated on the sensor chip was established. Self oscillation phenomenon was considered as unique principle of the viscosity measurement for the sensor.
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