成果報告書詳細
管理番号20130000000016
タイトル平成23年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業11A09009d 高効率最適設計に向けたX線CTスキャナーの形状抽出高精度化技術開発 平成23年度最終
公開日2013/3/20
報告書年度2011 - 2011
委託先名国立大学法人東京大学 大竹 豊
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約X線CTスキャナーより得られるX線の投影像列を入力として、3次元形状を高精度に抽出することを目的とした以下の新技術を開発した。
・従来の直交格子ではなく形状に沿った非構造格子を用いてCT再構成を行うことにより、3次元形状を少ないデータ量で高精度に抽出する技術。
・X線の線質硬化による形状抽出精度の低下を解決するための投影像列の補正技術。開発した補正法は質量保存則に基づいて補正を行い、従来法と比べて手軽に適用でき、かつ計算量も少ない。
上記の技術を用いて、MEMSの高精度な形状検査に取り組んだ。高分解能X線CTスキャナーを用いて、全体が約2000μm のMEMSに対して、10μm 前後の誤差で3次元形状を構築することができた。
また、開発した技術の普及を目的として、GPUによる高速計算が可能なソフトウェアを開発した。
英文要約Novel algorithms for extraction of a highly accurate 3D-shape using a set of X-ray projection images obtained from a CT scanner have been developed.
* CT reconstruction on tetrahedral meshes fitted into the shapes to be extracted, which is aimed for generating more compact and accurate 3D data.
* Simple and efficient beam hardening correction based on mass-preservation, which is aimed for highly accurate meteorology.
By using the above algorithms, accurate inspection of full 3D- shapes of MEMS was achieved. Software was also developed for demonstrating the new algorithms.
ダウンロード成果報告書データベース(ユーザ登録必須)から、ダウンロードしてください。

▲トップに戻る