成果報告書詳細
管理番号20130000000042
タイトル平成23年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業11B09009d 製造プロセスの高度化に向けた多様環境対応型 静電気計測技術の開発 平成23年度中間
公開日2013/3/25
報告書年度2011 - 2011
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所 菊永 和也
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約本研究では、音波を使って絶縁体の帯電特性を検出する技術を開発している。その帯電体は音波によって振動させられ、それに伴う電界強度の変化はアンテナによって検出された。系統的な実験結果から、電界強度と位相は表面電位と電気的極性に関連することを明らかにした。それらの関係はその現象が帯電体の電気的特性を測定するために使うことができることを明らかにした。
さらに、サンプル表面の動作を励起するために集束された音波を用いて、サンプル表面を走査することを基盤とした、表面の静電気分布の非接触測定のために新しい方法を確立した。これらより、音波と電界を用いることによって空気中で遠くから非接触に帯電体の電気的特性を検出することができる新しい静電気計測技術を確立した。
英文要約We have developed a technology for probing the electrostatic charge properties of insulators via acoustic waves. The object was vibrated with acoustic waves, and changes in electric field intensity with acoustic wave irradiation were detected using an antenna. The electric field intensity and phase were found to be related to the surface voltage and electrical polarity. These relations indicate that this phenomenon can be used to measure the electrical properties of charged materials.
Moreover, this method was established for non-contact measurement of the distribution of electrostatic charge on a surface based on scanning the sample surface with a focused acoustic wave to excite movement of the sample surface.
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