成果報告書詳細
管理番号20130000000088
タイトル平成23年度成果報告書 平成20年度第2回産業技術研究助成事業 08C46618c ピコリットル微小液滴反応場を利用した低分子系有機薄膜デバイスプロセスの開発 平成23年度最終
公開日2013/4/9
報告書年度2008 - 2011
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約前年度までに開発に成功した、単一成分有機半導体薄膜を製造するための独自技術であるダブルショット・インクジェット印刷法について、さらなる高度化と実用化に向けた研究開発を実施し、本プロジェクトの最終目標達成に向けた総合的な研究展開を推進した。基板としてプラスチックを用いる研究においては、溶解性ポリマーのスピンコート法によるゲート絶縁膜形成に的を絞り、UV光照射による親水/疎水表面改質について集中的な検討を実施した。この手法を活用することにより、簡易なデバイス製造に適したソース・ドレイン電極の構築法の開発に成功するとともに、その最適化について検討を行った。さらにダブルショット・インクジェット印刷法によって良質な有機半導体薄膜を形成するための印刷条件を明らかにするため、2種のミクロ液滴が混合する動的機構を高速度カメラによって顕微鏡観察し、その動画解析を行った。特にこれらの実験を多種の液体の組合せに対して行うことにより、ミクロ液滴の混合過程の類型化と2液の特性相関を明らかにした。これら検討に関連し、装置ブース内の気温・湿度・基板温度・ヘッド温度等の印刷環境が、膜質の均質性に与える影響について詳しい知見を得ることに成功した。
英文要約Toward the final goal of this project, we further promoted unique double-shot inkjet printing technology for producing single-crystal organic semiconductor films. Based on surface treatment technique for polymer insulator films, we successfully developed simple print production technology for the source/drain electrodes. We also investigated the intermixing mechanism of two kinds of micro-droplets by the microscope observation using high speed camera. We successfully classified the microfluidic process of binary liquid mixture depending on the various combinations of liquids, and clarified the influence of printing conditions on the quality of inkjet-printed films.
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