成果報告書詳細
管理番号20120000001120
タイトル平成23年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09B36002a 高効率成膜プロセスを用いた機能性酸化物薄膜の開発および調光ミラーデバイスへの応用と優れた耐環境性能を有する構造開発 平成23年度中間
公開日2013/11/23
報告書年度2011 - 2011
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所田嶌一樹
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約酸化物系薄膜材料の省使用化技術開発・代替材料開発
・酸化タンタル薄膜の材料使用量:9割程度削減、プロセス時間:9割程度削減を達成した。
・透明導電膜:各種材料の適用可能性を調査し、より低抵抗なメッシュ電極の適用を図り、±1Vで動作が可能になった。
調光ミラーデバイスの環境性能把握による耐環境性能の向上に資する構造開発
・ソーラーシミュレータを用いた擬似太陽光下でデバイスの耐候性を調査し、保護層等よりほとんど劣化しないことを確認した。
英文要約・The device was fabricated even if it has 90% less amount of Ta2O5 thin film than that of conventional device.
・The device with mesh-type electrode showed faster switching speed by low applied voltage of ±1V.
・High durable device with some surface coating was confirmed in artificial sunlight by solar simulator.
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