成果報告書詳細
管理番号20130000000032
タイトル平成23年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業11B11021d 界面機能集積型コア・シェル微粒子による環境低負荷ハイブリッド研磨剤 平成23年度中間
公開日2013/11/23
報告書年度2011 - 2011
委託先名国立大学法人熊本大学高藤誠
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約1)合成ポリマーをコアとするコア・シェル微粒子の検討
ナノシリカ粒子シェル層の埋入深さ(露出度)および充填密度を制御する方法を確立するとともに、コアポリマーの架橋密度のバリエーション化(コア粒子の強度制御)に成功した。また、100 gスケールでのコア・シェル微粒子の調製も達成し、微粒子サイズのラインアップ化も検討した。
2)天然ポリマーをコアとするコア・シェル微粒子の検討
ナノ粒子(酸化チタン、アルミナ、シリコンカーバイド)の表面電荷が、コア・シェル微粒子の界面構造に大きく影響することを確認した。このことにより天然ポリマーをコアとするコア・シェル微粒子の界面構造制御への指針が得られた。
3)界面イオン化ポリマー微粒子のケミカルソフト研磨材(CMP)への応用
表面にカチオン性基を導入した合成ポリマー微粒子を作製し、透明導電膜(ITO)のケミカルソフト研磨を実施した結果、効果的な研磨性能があることを確認した。
英文要約1) Core-shell microspheres with synthetic polymer core
- It was confirmed that the packing density and the surface structure of core-shell microsphere with nanoparticles shell layer could be tuned precisely by various factors.
- Large scale (>100 g) preparation was achieved.
2) Core-shell microspheres with natural polymer core
- It was confirmed that the surface charge of nanoparticles is much effective to the formation of shell layer.
3) Surface aminated polymer microspheres for chemical polishing materials and their abrasive performance
- It was confirmed that the surface aminated polymer microspheres prepared using ethylenediamine are useful for chemical polishing of ITO electrode.
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