成果報告書詳細
管理番号20130000000910
タイトル平成24年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A16003d UV硬化樹脂の光誘起相分離を利用した革新的フレキシブル低誘電率膜成形プロセスの開発 平成24年度最終
公開日2013/11/13
報告書年度2012 - 2012
委託先名国立大学法人京都大学瀧健太郎
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約多孔型フレキシブル低誘電率膜に電気回路を形成し、伝送特性を測定するために、平成23年度までに開発が完了していた新規多孔ポリイミドフィルム作成プロセスをもとに面積ベースで10倍のスケールアップが可能な装置を開発した。この装置により、150 mm × 70 mmの多孔ポリイミド膜をわずか5分の多孔化工程と従来通りの2時間のイミド化工程で作成できるようになり、従来法(48 h)と比較して大幅なプロセス時間の短縮及び高空隙率化、大面積化を実現した。
英文要約To draw an electrical circuit on the porous polyimide film、 the innovative process invented in FY23 was scale-upped with 10-time area-based scale. New production process produced 150 mm × 70 mm porous polyimide film within 5 min for precursor polyimide and 2 h for the thermal imidization process. The production time is shortened dramatically with high-porosity and large-area.
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