成果報告書詳細
管理番号20130000001021
タイトル成24年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A17019a 短尺カーボンナノチューブの創製とCNTトランジスタへの展開 平成24年度最終
公開日2013/11/12
報告書年度2012 - 2012
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所斎藤毅
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約塗布型CNTトランジスタに関して検討し、金属/半導体分離、成膜技術、デバイス作製技術、測定方法などすべてのプロセスについて見直しを図り、本プロジェクトの目標であるオンオフ比10^7以上(移動度が1-2cm^2/Vs程度)のデバイス特性や、移動度がすべて10cm^2/Vs以上(オンオフ比が10^3-5)のデバイス特性を得るに至った。
英文要約For the development of the printed CNT transistor, we have carried out the improvements in various techniques of semiconducting-SWCNT extraction, film forming, device fabrication, and so on, that have led to the increase in the device performances that meet targeted values of this project, that is, "on/off ratio of >10^7 with carrier mobility of 1-2cm^2/Vs", and "carrier mobility of >10cm^2/Vs with on/off ratio of 10^3-5".
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