成果報告書詳細
管理番号20130000000951
タイトル平成24年度成果報告書 平成21年度第1回採択産業技術研究助成事業 09A23003a エンジンの潤滑油粘性モニタリングや流体プラントの多点プロセス粘性計測を実現する超小型粘性MEMSセンサの開発 平成24年度最終
公開日2013/12/25
報告書年度2012 - 2012
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所山本泰之
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約平成24年度は,粘性センサの実用化研究を行う.昨年度に確立されたひずみゲージの製造プロセスを用いて,ひずみゲージが集積された粘性センサを製作し,変位検出と粘性測定の検証を行った.また,粘性センサのパッケージとして電磁コイル方式の検証を進めた.具体的には,次の成果を得た.
(1)ひずみゲージによる変位検出と粘性測定
・集積化されたひずみゲージを用いて,変位検出の検証を行い,優れた線形性を有していることが明らかとなった.
・液体中で変位検出を行い,レーザー変位計で得られたデータを一致した.
(2)センサパッケージの製作
・ピエゾ,および電磁コイルの2パターンのアクチュエータを含むセンサホルダーの比較検証を行い,電磁コイルタイプが優れた特性を持つことを見出した.
(3)USBメモリサイズのセンサパッケージの開発
・実用化に近いセンサパッケージとしてUSBメモリサイズの電磁アクチュエーション式ホルダーを開発した.
英文要約MEMS based viscosity sensor was developed. The strain gauge integrated on the sensor chip was verified. Two types of the actuator of the sensor were proposed.
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