成果報告書詳細
管理番号20130000001066
タイトル平成24年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業 11B14005d 低摩擦係数Mo酸化物を利用した耐磨耗・耐溶着性に優れる(Ti,Mo)系酸窒化物硬質被膜の開発 平成24年度中間
公開日2014/1/22
報告書年度2012 - 2012
委託先名国立大学法人東北大学須藤祐司
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約摩耗実験により、窒素濃度が高い(Ti,Mo)N膜では、低摩擦係数かつ耐溶着性に優れる事が分かった。熱力学的解析より、高窒素濃度膜では(Ti,Mo)窒化物相中のTiの活量が下がりMoが酸化し易くなる事が示唆された。即ち、高窒素濃度膜では、Moの摩耗酸化が促進され低摩擦・耐溶着性に優れる膜が形成される事が分かった。また、熱処理により、組織変化が生じ、硬度が上昇する事が分かった。特に、その熱処理効果は、高Mo濃度の(Ti,Mo)N膜において顕著であった。計算状態図より、TiNとMo2Nへの二相分離が生じている事が示唆された。更に、(Ti,Mo)NへのB添加は、高硬度化に有効である事が分かった。
英文要約It was found that the (Ti,Mo)N with a high N content shows high hardness and excellent seizure resistance. It was suggested by thermodynamic analysis that in the film with high N content, the activity of Ti becomes low and consequently, Mo is easy to oxidize. That is, the formation of Mo-oxide during wearing is promoted in the film with a high N content, which causes low friction coefficient and excellent seizure resistance. Moreover, it was found that the hardness of the (Ti,Mo)N film with a high Mo content increases by heat treatment, which is caused by the phase separation. Furthermore, B addition was found to be very effective to increase the hardness of (Ti,Mo)N films.
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