成果報告書詳細
管理番号20130000001079
タイトル平成24年度成果報告書 平成24年度採択先導的産業技術創出事業 11B09009d 製造プロセスの高度化に向けた多様環境対応型 静電気計測技術の開発 平成24年度中間
公開日2014/1/24
報告書年度2012 - 2012
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所菊永和也
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約本研究では集束超音波を用いて誘起させた電界を検出することで静電気計測を行う技術を提案した。そこでは、285個の超音波振動子のフェーズドアレイを用いて、各々の位相を独立に制御することで集束超音波を発生させた。これより、2cm程度の集束音波が得られる音響システムを開発することができた。また、集束超音波によって誘起された電界を検出するために、平板電極とロックインアンプ方式を用いた。これを用いることで対象物から80cm離した位置でも電界を検出することが可能な低周波電界計測システムを開発した。
英文要約A novel method is proposed for non-contact measurement of static electricity on a surface by a focused ultrasound wave to excite movement of the sample surface. An electric field is induced by exciting a charged object, and an electric field sensor measures it instead of an electrostatic field. The focused ultrasound waves are generated by controlling individually the phase of 285 airborne ultrasound transducers. We have clarified that it can be measured the static electricity from a distance of 80 mm for the charged object.
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