成果報告書詳細
管理番号20130000001068
タイトル平成24年度成果報告書 平成24年度採択先導的産業技術創出事業 11B04014c 強誘電体MEMSによる高効率振動発電素子の開発 平成24年度中間
公開日2014/3/21
報告書年度2012 - 2012
委託先名公立大学法人大阪府立大学吉村武
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約BiFeO3多結晶薄膜を用いた圧電MEMS振動発電素子の試作を行い、環境振動に適合する100Hz程度に共振周波数を有する素子の作製に成功した。その素子において最大発電量2.8mW-cm-3-G-2も得られ、前年度と比べると35倍の特性向上を達成した。有効電気機械結合係数の評価方法も確立し、0.41%であることを明らかにした。BiFeO3薄膜の圧電特性向上においては、圧電応答力顕微鏡を用いた測定から内因的寄与を定量的に評価することで、ドメイン壁も圧電特性に影響を及ぼすことを明らかにした。
英文要約Piezoelectric MEMS vibration energy harvesters using BiFeO3 polycrystalline films were fabricated. We have succeeded in the fabrication of the harvests with a resonant frequency of around 100 Hz, which is typical frequency of vibration in the environment. The harvester shows the maximum output power of 2.8mW-cm-3-G-2, which is 35 times larger than that obtained in last year. We have developed the method to estimate the effective electromechanical coupling factor and revealed that the harvester has the coupling factor of 0.41%. From the quantitative investigation of the intrinsic contribution using piezoelectric farce microscopy, it was revealed that the piezoelectric response of the domain wall has large contribution on the piezoelectric properties of the BiFeO3 films.
ダウンロード成果報告書データベース(ユーザ登録必須)から、ダウンロードしてください。

▲トップに戻る