成果報告書詳細
管理番号20130000001069
タイトル平成24年度成果報告書 平成24年度採択先導的産業技術創出事業 11B06004d 高密度・近接プラズマによる1ピースフロー型・超高速・三次元DLC成膜装置の開発 平成24年度中間
公開日2014/5/17
報告書年度2012 - 2012
委託先名国立大学法人名古屋大学上坂裕之
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約1)MVP法で超高速DLC成膜を行う場合において成膜面へのガス吹付けによる劇的な増速効果を確認した.(成膜レートが基準条件での153μm/hから吹付を行うことで1065μm/hに増加した.)
2)水素含有量がDLC膜硬度と強く相関していることを突き止め,水素含有量と膜形成時の単位膜体積あたりのイオン衝撃量が相関することを明らかにした.
3)プラットフォームとして選んだCOMSOL上で,コアシーズであるマイクロ波励起・高密度・基材近接プラズマの解析(Arプラズマ,2次元軸対称座標,プラズマ-マイクロ波連成)が可能となった.
英文要約1)In ultra-high-speed coating of DLC using MVP, drastic increase of deposition rate by gas blowing was confirmed. (The deposition rate was increased from 153 um/h without gas blowing to 1065 um/h with gas lowing.)
2)Strong correlation between hydrogen content and hardness was confirmed for DLCs deposited. It was further confirmed that the hydrogen content in the film is decreased with increase in ion bombardment amount per unit volume of the film during deposition.
3)By using COMSOL, which had been selected as a platform of this research, microwave-excited high-density near plasma was successfully calculated (Ar plasma, 2-dimensional: r-z coordinate, plasma-microwave coupled.)
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