成果報告書詳細
管理番号20130000000028
タイトル平成23年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業 11B06029d 超高効率1次元量子ナノワイヤー熱電変換素子の開発 平成23年度中間
公開日2014/6/14
報告書年度2011 - 2011
委託先名国立大学法人埼玉大学長谷川靖洋
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約超高効率1次元量子ナノワイヤー熱電変換素子を開発するために、直径100nm以下の石英ガラス製テンプレート作成の最適化を行った。ナノスケールのワイヤー表面や側部に局所電極を取り付けられるように、集束イオンビームを使った手法を開発し、測定が可能となった。石英ガラスに囲まれているナノワイヤー熱電変換素子の熱伝導率を測定するために、ナノワイヤーにダメージを与えることなく、石英ガラスのみを溶かすプロセス技術を開発し、ナノ加工と3ω法を使った熱伝導率測定の要素技術開発を行った。ナノワイヤーを使って直接フェルミ準位などを測定するための量子振動測定を行った。一次元の状態密度とワイヤー表面でのポテンシャルを考慮に入れた計算機コードの開発を行い、ゼーベック係数のフェルミエネルギー依存性が得られるようになった。
英文要約The optimization of the quartz template was done to fabricate the nanowire sample that is less than 100 nm diameter. The technique to make local electrodes on the surface and/or side of the nanowire was developed by using focus ion beam, making it possible to measure the property. A new process by nanofabrication and 3ω technique was established to estimate the thermal conductivity for Bi nanowire in the quartz that can be retrieved intact from the quartz template by using etching process. The Fermi energy measurement was done by using quantum oscillation for nanowire samples. A new calculation code was developed to estimate the Fermi energy dependence of the Seebeck coefficient for the nanowire that contain the surface potential and one-dimensional density of state.
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