成果報告書詳細
管理番号20140000000328
タイトル平成23年度成果報告書 平成21年度第2回産業技術研究助成事業 09C46574a 自律型自己組織化液体ナノプロセス・装置の開発 平成23年度中間
公開日2014/7/1
報告書年度2011 - 2011
委託先名国立大学法人名古屋大学是津信行
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約Auナノ粒子単層膜を電荷保持層とするナノドットMOSキャパシタを作製し、その電気特性を調べた。高周波容量電圧測定およびKFMを用いた表面電位分布計測から、ゲート電圧印加の掃引によるナノドット内への電荷の充放電に基づくヒステリシスを確認した。また、メモリウィンド値のバラつきからAuナノ粒子集積密度の均一性を評価した結果、ドット1個あたりに充電される電荷の誤差を1個以内に抑えることができた。
英文要約We investigated electronic properties of a Au nanoparticle monolayer by means of double-sweep high frequency I-V measurement and KFM imaging. We found that the fabricated Au nanoparticle monolayer embedded MOS capacitor showed clear memory operation due to the charge confinement in the embedded Au nanoparticles. And the density fluctuation of the Au nanoparticles was also evaluated by electronic characterization characteristic variation.
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