成果報告書詳細
管理番号20140000000391
タイトル平成22年度成果報告書 平成20年度第2回採択産業技術研究助成事業 08C46641c d電子系透明導電体群の開発 平成22年度中間
公開日2014/7/1
報告書年度2010 - 2010
委託先名東北大学一杉太郎
プロジェクト番号P00041
部署名技術開発推進部
和文要約Nb12O29透明導電体の耐アニール特性を検討した。
その結果、900℃までの真空アニールに対して安定であることを確認した。
次に、Li4Ti5O12(LTO)薄膜のスパッタ成膜と評価を行い、
より高品質なエピタキシャル薄膜をめざして成膜条件の最適化を行った。
さらに、LTOに対してNbドーピングを行い、導電性付与を試みた。
エピタキシャル薄膜は得られたが、電気伝導性は得られなかった。
英文要約We have characterized a transparent conductor Nb12O29,
and found unique properties that conventional transparent conductor do not possess,
such as high refractive index and excellent durability to reduced condition at high temperature.
Further, we investigated Li4Ti5O12 as transparent conductor.
However, it is still resistive, although the film is transparent.
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