成果報告書詳細
管理番号20140000000789
タイトル平成24年度-平成25年度成果報告書 低炭素社会を実現する革新的カーボンナノチューブ複合材料開発プロジェクト グラフェン基盤研究開発 ショウノウを活用した単結晶グラフェンの研究開発(2)
公開日2015/1/31
報告書年度2012 - 2013
委託先名神港精機株式会社
プロジェクト番号P10024
部署名電子・材料・ナノテクノロジー部
和文要約平成24年度に製作する装置の仕様の検討を行った。既存の装置に対して、大きな設計変更が必要な箇所は、レーザー光導入とショウノウ供給器の二つが挙げられる。それらの仕様決定および概要設計を行った。平成25年度に、平成24年度に検討した内容に基づき、詳細設計を進め、装置本体を8月初、樟脳供給器を10月初に名古屋サイエンスパーク連携リサーチセンターに設置した。 レーザー光導入部については、既存装置ではプラズマ源のサイズがΦ300mmであったところをΦ125mmまで小型化し、プラズマ源から50mmの位置のステージの中心に、22.5°でレーザー光を導入することができた。ショウノウ供給器については、パージおよびキャリアガスを出来るだけショウノウチャンバーの下部へ導入し、チャンバー内ガスが攪拌されるように考慮した。チャンバー全体の加熱は、チャンバー形状に合わせて作製したジャケットヒーターを使用した。処理室までの配管およびバルブ等の加熱はマイクロヒーターを使用し、アルミ箔、シリコーンスポンジで断熱した。それぞれ最高温度を200℃とした。サンプル取り出しの際のベントガスを利用して、ステージの冷却速度を速める機構を設置した。真空中では15min.で690℃から500℃程度まで下がるところを、N2 を2L/min. 流すことで、435℃まで下げることが出来た。 今回作製した装置で成膜を行い、ラマン分光法によりグラフェンの成分が含まれていることを確認した。
英文要約In 2012 fiscal year, we designed specification and outline of the equipment. The laser irradiation and the camphor sublimation apparatus are important units.In 2013 fiscal year, we designed the equipment in detail. We set up the equipment in the Nagoya science park in August and October. The equipment was downsized a plasma source from φ300mm to φ125mm. Thereby it could irradiate the laser to the center of the stage at an angle of 22.5°, when the stage was at the position at 50mm from the plasma source.The camphor chamber was designed so that an internal gas might mix. The chamber was heated with the jacket heater designed for exclusive use. The gas line parts could be heated up to 200℃. The equipment was added the unit that was cooled by N2 gas. The temperature of the heater cooled from 690℃ to 500℃ in 15 minutes in the vacuum. When N2 gas was used 2L/min , the unit could cooled the temperature of the heater to 435℃ in 15 minutes.It was able to be confirmed from raman spectra that the thin film deposited by the equipment contain grapheme.
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