成果報告書詳細
管理番号20150000000501
タイトル平成22年度-平成26年度成果報告書 次世代素材等レーザー加工技術開発プロジェクト 次世代レーザ加工技術の研究開発(4)
公開日2015/10/2
報告書年度2010 - 2014
委託先名株式会社アルバック
プロジェクト番号P10006
部署名ロボット・機械システム部
和文要約本研究開発で実用化を目指している技術分野の一つは、高性能ディスプレイパネルの量産装置技術である。高性能TFT駆動素子技術として知られるLTPS(Low Temperature Poly-Silicon,低温ポリシリコン)では、レーザーを応用した表面処理技術が活用されている。このLTPS-TFT製造工程では、ガラス基板上にCVD(Chemical Vapor Deposition)装置でA-Si(amorphous-Silicon)薄膜を成膜し、これにライン状に集光したレーザービームをラインの短軸方向に走査しながら照射して、A-Si膜をPoly-Si膜に改質(多結晶化)する。処理能力としては、ラインビームの幅が広い程、一括で大面積を多結晶化できるため、量産装置ではレーザービームのワイド化が求められている。しかし、ビームのワイド化に比例してレーザーの高出力化と光学レンズの大型化が必要となる為、高度な技術と高額な開発費がワイド化へのハードルとなっていた。本プロジェクト前半では、ユニークな仕様で、安定かつ大出力の固体グリーンレーザー発振器と大型の高精細研磨技術の二つを開発した。これらの技術を駆使した発振器と大型異形レンズを完成させた。プロジェクト中盤には、大面積表面処理の為のレーザー加工システムを実現した。実践的なディスプレイの初期評価レベルまでを視野に実験機を構築し、多結晶化を行った。
英文要約One of the technical fields in which it aims at practical use by this research and development is a mass production device technology of the efficient display panel. In LTPS (Low Temperature Poly-Silicon) known as an efficient TFT drive element technology, the surface anneal technology that applies the laser has been used.It irradiates while scanning the laser beam that the A-Si(amorphous-Silicon) thin film is converged to the Poly-Si doing and this with the CVD(Chemical Vapor Deposition) device like the line on the glass substrate short axially of the line, and the reforming of the A-Si film in the Poly-Si film in this LTPS-TFT manufacturing process. Because a large area can be made a poly-crystal by the batch by the width of the line beam wide, making the laser beam wide is requested as a processing performance in the mass production device. However, the advanced technique and the development cost of high priced were hurdles to making widely because it needed making of the laser and high power the enlargement of an optical lens in proportion to making of the beam wide.In current project first half, we developed stable and high-power solid green laser oscillator and the large-scale high-definition abrasion technology with unique specifications. We completed an oscillator and the large heteromorphic lens which made full use of these techniques. In the project middle stage, we realized a laser material processing system for great area surface treatment. We built an experiment machine at the initial evaluation level of a practical display in the field of vision and performed many crystallization.
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