成果報告書詳細
管理番号20150000000831
タイトル平成23年度-平成27年度成果報告書 先導的産業技術創出事業 11B07008d FePt系規則合金の強磁性ー常磁性相変化を誘起するイオン照射型フラット・パターニング法によるビット・パターンド・メディアの開発
公開日2015/12/25
報告書年度2011 - 2015
委託先名国立大学法人秋田大学長谷川崇
プロジェクト番号P00041
部署名イノベーション推進部
和文要約規則構造の不規則化効率とイオン照射角度との相関を調べたところ,不規則化効率は被照射体の原子面密度に比例した.そのため照射角度や膜構成の最適化により,手法Bでもチャネリングを抑止したBPM作製が可能になると考える.また手法Aにより,自己組織化微粒子マスクを用いた微小ドット作製を行った.磁気特性評価の結果,申請時の記録密度の目標値10テラビット/平方インチをクリアした可能性が示唆された.しかし計測機器の分解能不足が原因で十分な確認には至らなかった.また記録媒体としての膜構成に関しては,熱アシストヘッドに対応するため,記録層上部には耐熱潤滑層と保護膜,下部には軟磁性層と放熱層の形成が望ましいことがわかった.
英文要約The mechanism of disordering of L10 FePt films caused by ion irradiation were studied. The efficiency of disordering depends on the atomic density of irradiated crystal-planes. Dots with 5-7 nm in diameter were fabricated using masks of self-assembled particles. It seems that the target value has been cleared, but still need higher resolution analysis. For realizing future energy assisted media, oxidation resistance layers and heatsink layers on top and bottom of recording layers are necessary.
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