成果報告書詳細
管理番号20150000000024
タイトル平成25年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業 11B04014c 強誘電体MEMSによる高効率振動発電素子の開発 平成25年度中間
公開日2016/3/10
報告書年度2013 - 2013
委託先名公立大学法人大阪府立大学吉村武
プロジェクト番号P00041
部署名イノベーション推進部
和文要約(100)配向成長したBiFeO3薄膜をSi基板上に作製するため、(100)自己配向成長する特徴を有するLaNiO3薄膜を下部電極として採用した。LaNiO3薄膜およびBiFeO3薄膜の作製条件、熱処理条件の最適化を行った結果、(100)配向BiFeO3薄膜においてe31,f定数=-4.0C/m2、振動発電性能指数=14GPaの特性を得ることに成功した。またその(100)BiFeO3/(100)LaNiO3構造を有する圧電MEMS振動発電素子の試作を行い、最終目標値の10倍に当たる10.5μWmm-3G-2の規格化発電量を得た。
英文要約To grow (100) oriented BiFeO3 films on Si substrate, LaNiO3 films, which has a characteristics of (100) self-texture growth, were employed as bottom electrodes. As the results of obtimization of the growth and annealing condition for LaNiO3 and BiFeO3 films, e31,f coefficient of -4.0C/m2 and figure of merit of 14 GPa were obtained on the (100) oriented BiFeO3 films. Moreover, piezoelectric MEMS vibrational energy harvesters using the (100)BiFeO3/(100)LaNiO3 structure were fabricated and the normalized power of 10.5 μWmm-3G-2 were obtained.
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