成果報告書詳細
管理番号20150000000028
タイトル平成25年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業 11B14005d 低摩擦係数Mo酸化物を利用した耐磨耗・耐溶着性に優れる(Ti,Mo)系酸窒化物硬質被膜の開発 平成25年度中間
公開日2016/3/16
報告書年度2013 - 2013
委託先名国立大学法人東北大学須藤祐司
プロジェクト番号P00041
部署名イノベーション推進部
和文要約(Ti,Mo)炭窒化物被膜の硬さや摩擦摩耗特性に及ぼす窒素濃度の影響を調査した結果、高窒素Ti-Mo-C-N被膜は高硬度かつ低摩擦係数を有する事が分かった。Ti-Mo-C-N被膜とTi-Mo-C被膜はほぼ同等の硬さを示すが、Ti-Mo-C-N被膜の方が耐摩耗性に優れると共に0.27程度(vsステンレス)の低い摩擦係数を示す事が分かった。
Moを含む窒化物への酸素添加によりアモルファス相が形成され、酸素ガス流量制御により結晶+アモルファス二相組織とする事で低摩擦係数化が可能である事を見出した。更に、反応性ガス流量制御による新たな多層膜化手法を確立し、Mo-N/Mo-O-N多層膜の作製し摩擦係数の低減に有効な手法である事を示した。
英文要約It was found that Ti-Mo-C-N film with a high N content shows high hardness (over 30GPa) and low friction coefficient. Although the Ti-Mo-C-N film showed almost the same hardness with Ti-Mo-C film, the Ti-Mo-C-N film exhibited better wear resistance and showed a low frication coefficient of 0.27 against stainless steel. The addition of oxygen to Mo-N film is effective to enhance the wear properties because of the formation of amorphous phase. Furthermore, the deposition method to fabricate multilayered film composed of Mo-N/Mo-O-N by controlling only reactive gas flow rate was established.
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