成果報告書詳細
管理番号20150000000041
タイトル平成25年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業 11B09009d 製造プロセスの高度化に向けた多様環境対応型静電気計測技術の開発 平成25年度中間
公開日2016/3/10
報告書年度2013 - 2013
委託先名独立行政法人産業技術総合研究所菊永和也
プロジェクト番号P00041
部署名イノベーション推進部
和文要約本研究では集束超音波と誘起電界を用いた非接触型の静電気分布計測技術の確立を試みた。そこでは超音波振動子のフェーズドアレイ法を用いることで集束超音波を発生させ、局所的な励振を実証した。その集束超音波による局所励振の走査技術と、平板電極とロックインアンプ方式の低周波電界計測技術を用いることで、表面電位20 V以上、精度10 %、空間分解能Φ30 mm、面積、100 mm × 100 mm、一点当たりの走査時間200 ミリ秒以下の静電気分布計測技術を確立した。
英文要約A technology for measuring electrostatic distribution, with a surface potential of 20 V or more with an accuracy of 10 % and a spatial resolution of 30 mm diameter over an area of 100 mm × 100 mm with a scanning time per point of 200 ms, was established by scanning localized oscillations using focused ultrasound and low-frequency electric field measurement using a plane electrode with a lock-in amplifier.
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