成果報告書詳細
管理番号20150000000045
タイトル平成25年度成果報告書 平成23年度採択先導的産業技術創出事業 11B11021d 界面機能集積型コア・シェル微粒子による環境低負荷ハイブリッド研磨剤 平成25年度中間
公開日2016/3/10
報告書年度2013 - 2013
委託先名国立大学法人熊本大学高藤誠
プロジェクト番号P00041
部署名イノベーション推進部
和文要約界面機能集積型コアシェル微粒子の研磨能の評価を行った結果、特定の条件で既存の砥粒より高い研磨能が確認された。1)セリアナノ粒子をシェルとするコアシェル微粒子による石英板のパッドレスで研磨での、セリア使用量の大幅削減、2)ダイヤモンドをシェルとするコアシェル粒子によるサファイアの研磨での高い表面平滑性、3)アミノ化コアシェル粒子でのITO基板の電気抵抗低下抑制を伴う平滑化、などの具体的な結果が得られた。また、新規に開発した超臨界二酸化炭素複合化法による多用なコアシェル微粒子作製ならびに熱伝導シートへの応用を目的とした窒化ホウ素をシェルとするコアシェル微粒子の作製にも成功した。
英文要約Core-shell microspheres with various combinations of core materials were used for polishing of various substrates such as quartz, sapphire and ITO plates. The results indicated that the polishing ability (usage of nanoparticles (rare earth), smoothness of the substrate) was better than conventional polishing materials under appropriate polishing conditions. Novel hybridization methods including supercritical carbon dioxides hybridization method for core-shell microspheres are also developing for other applications such as thermal conductive materials.
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