成果報告書詳細
管理番号20150000000836
タイトル平成23年度ー平成27年度成果報告書 先導的産業技術創出事業 11B09009d 製造プロセスの高度化に向けた多様環境対応型静電気計測技術の開発 平成27年度最終
公開日2016/3/15
報告書年度2011 - 2015
委託先名国立研究開発法人産業技術総合研究所菊永和也
プロジェクト番号P00041
部署名イノベーション推進部
和文要約本研究では集束超音波のインパルス励起と、誘起された電界のインパルス応答を用いることで、短時間で静電気計測する技術を開発した。そこでは40 kHz超音波信号のON/OFF制御と空中超音波を用いたフェーズドアレイ法によってインパルス集束超音波を発生させた。また誘起された電界の周波数解析を基に不要な信号周波数を除くことで電界のインパルス応答の検出精度を改善した。これらにより静電気の計測精度7 %と計測時間34ミリ秒の短時間計測を達成し、静電気分布計測時間の高速化技術の基盤を確立した。
英文要約A technology for measuring static electricity for short time periods was developed by using impulse excitation of a focused ultrasound and impulse response of an induced electric field. There, the impulse ultrasound was generated by turning 40 kHz signal on-off control and a phased-array method using ultrasound transducers, the precision of an impulse response of electric field detection was improved by removing the unnecessary signal frequency based on frequency analysis of the induced electric field. A measurement accuracy of 7 % and a measurement time of 34 ms for measuring static electricity were achieved.
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