成果報告書詳細
管理番号20150000000826
タイトル平成23年度ー平成27年度成果報告書 先導的産業技術創出事業 11B06004d 高密度・近接プラズマによる1ピースフロー型・超高速・三次元DLC成膜装置の開発 平成27年度最終
公開日2016/4/29
報告書年度2011 - 2015
委託先名国立大学法人名古屋大学
プロジェクト番号P00041
部署名イノベーション推進部
和文要約500 μm/hを超える超々高成膜レートで,20 GPa以上の硬度が両立できるガス吹付併用方式の,さらなる最適化を行った.(具体的には吹付効果を得る面積を増やす手法を検討し,指針を得た.)また,PEGASUS上でのマイクロ波励起・高密度・基材近接プラズマの解析(Arプラズマ,2次元軸対称座標,プラズマ-マイクロ波連成)において,1000Wの入力パワーに対して計算を収束させることが可能となった
英文要約We further optimized ultra-high-speed DLC coating assisted by gas blowing, where 500 μm/h and 20 GPa can be substantially achieved together. (We increased the area of substrate where gas blowing effect, or drastic increase of deposition rate is achieved.) In addition, microwave-plasma coupling simulation of high-density MVP plasma in r-z 2-dimentional space by using PEGASUS showed good convergence even at a high microwave power of 1000 W.
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