成果報告書詳細
管理番号20150000000841
タイトル平成23年度ー平成27年度成果報告書 先導的産業技術創出事業 11B11021d 界面機能集積型コア・シェル微粒子による環境低負荷ハイブリッド研磨剤 平成27年度最終
公開日2016/5/17
報告書年度2011 - 2015
委託先名国立大学法人熊本大学
プロジェクト番号P00041
部署名イノベーション推進部
和文要約セリア粒子をシェルとする研磨実験の結果から、コアシェル微粒子による研磨について、1)レジン研磨プレートを用いることで、コアシェル微粒子の機能を最大限に発揮できることを確認した。具体的にはセリアナノ粒子の使用量を大幅に低減できるとともに、パッドレス化プロセスによる研磨が可能であることを確認した。ブラスト研磨用のエラスティック特性を有するコアシェル粒子や反射材への応用を目的とした中空粒子の作製にも成功した。
英文要約In 2015FY, fine polishing of quartz plate using core-shell microspheres with ceria nanoparticles shell layer was carried out. The results indicated that the usage amounts of ceria could be reduced and polishing pad-less process could be realized. New core-shell microspheres were developed: 1) Core-shell microspheres with elastic property, 2) hollow microspheres from the core-shell microspheres. The elastic core-shell microspheres are under investigation for the blast polishing.
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