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Press Release

EUV光源で平均60W、24時間連続稼働を達成

―EUVスキャナー用LPP光源の量産適用に向けて大きく前進―
2015年10月2日
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構
ギガフォトン株式会社

NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン(株)は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機で、量産工場での使用を模擬した運転パターンで平均60W、24時間の連続稼働を達成しました。

これにより、量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく前進しました。

1.概要

NEDOの「戦略的省エネルギー技術革新プログラム事業」において、ギガフォトン(株)は、EUVスキャナー※1用レーザー生成プラズマ(LPP)光源※2の開発を進めてきました。このたびLPP光源のプロトタイプ機で、量産工場での使用を模擬した運転パターンで平均60W、24時間の連続稼働を達成しました。

今回ギガフォトン(株)は、これまでNEDOの助成等により開発を続けてきた、20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去技術を、より進化させたことによって、量産工場での使用を模擬した運転パターンでの平均60W、24時間の連続稼働を達成しました。これは、現状半導体工場で稼働しているEUVスキャナーに対して、約20%のスループット向上が見込める成果です。

この成果は、量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味します。

  • LPP光源概略の図
    図1.LPP光源概略図
  • LPP光源外観の図
    図2.LPP光源外観図

2.今後の予定

今後ギガフォトン(株)は、2015年中に高出力検証機を稼働させ、メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指し、更なる研究開発に取り組んでいきます。

高出力検証機は、省電力CO2レーザーの導入とEUV光の発生効率の向上を実証し、省エネルギー化を目指します。

【用語解説】

※1 EUVスキャナー
極端紫外線(EUV : Extreme Ultra Violet)を用いた半導体用次世代露光機。
※2 レーザー生成プラズマ(LPP)光源
特定の物質に強いレーザー光を集光してプラズマを作りEUVを取り出す光源(LPP : Laser Produced Plasma)。

問い合わせ先

(本ニュースリリースの内容についての問い合わせ先)

NEDO 省エネルギー部 担当:立岩、杉村 TEL:044-520-5281

ギガフォトン株式会社 経営企画部 担当:松井 TEL:0285-37-6931

(その他NEDO事業についての一般的な問い合わせ先)

NEDO 広報部 担当:佐藤、髙津佐、坂本 TEL:044-520-5151 E-mail:nedo_press@ml.nedo.go.jp