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Press Release

EUV光源で出力108W、24時間の安定発光に成功

―ロジック生産適用可能レベルで連続運転―
2015年12月14日
国立研究開発法人新エネルギー・産業技術総合開発機構
ギガフォトン株式会社

NEDOプロジェクトにおいて、ギガフォトン(株)は、現在開発中のEUVスキャナー用レーザー生成プラズマ(LPP)光源のプロトタイプ機を開発し、エネルギー安定性平均0.5%以下で、ロジック生産適用可能レベルである出力108Wの安定発光を、24時間連続運転で成功しました。

1.概要

NEDOの「戦略的省エネルギー技術革新プログラム事業」において、ギガフォトン(株)は、EUVスキャナー※1用レーザー生成プラズマ(LPP)光源※2の開発を進めてきました。

今回ギガフォトン(株)は、このLPP光源のプロトタイプ機で、これまでNEDOの助成等により開発を続けてきた、20μm以下の微小ドロップレットの供給技術、短波長の固体レーザーによるプリパルスとCO2レーザーによるメインパルスの組み合わせ、磁場を使ったデブリ除去技術をより進化させ、さらにエネルギー制御技術の改善により、量産工場での使用を模擬した運転パターンで、エネルギー安定性平均0.5%以下で、108W、24時間の連続稼働を達成しました。108Wという出力はロジック生産適用可能レベルでもあります。この成果は、量産対応EUVスキャナーの実現に向けて大きく進捗したことを意味します。

なお、これらの成果を、2015年12月16日(水)~18日(金)の間、東京ビッグサイトで開催される「SEMICON Japan 2015」において発表します。

  • 図 出力、及びエネルギー安定性
    出力、及びエネルギー安定性

2.今後の予定

今後ギガフォトン(株)は、2015年中に高出力検証機を稼働させ、メモリー等への量産対応目安である250Wレベルの連続稼働を目指し、更なる研究開発に取り組んでいきます。

高出力検証機は、省電力CO2レーザーの導入とEUV光の発生効率の向上を実証し、省エネルギー化を目指します。

【用語解説】

※1 EUVスキャナー
極端紫外線(EUV:Extreme Ultra Violet)を用いた半導体用次世代露光機。
※2 レーザー生成プラズマ(LPP)光源
特定の物質に強いレーザー光を集光してプラズマを作りEUVを取り出す光源。(LPP:Laser Produced Plasma)

3.問い合わせ先

(本ニュースリリースの内容についての問い合わせ先)

NEDO 省エネルギー部 担当:立岩、杉村 TEL:044-520-5281
ギガフォトン株式会社 経営企画部 担当:松井 TEL:0285-37-6931

(その他NEDO事業についての一般的な問い合わせ先)

NEDO 広報部 担当:佐藤、髙津佐、坂本 TEL:044-520-5151 E-mail:nedo_press@ml.nedo.go.jp