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3Dナノメートル評価用標準物質創成技術

基本情報

技術・事業分野 材料・部材 プロジェクトコード P02045
担当部
  • ナノテクノロジー・材料技術開発部
連絡先 044-520-5220
詳細資料

事業・プロジェクト概要

事業期間:平成14年度~平成18年度、平成18年度事業費:2.7億円
PL:小島 勇夫(独立行政法人 産業技術総合研究所 計測標準部門 先端材料科 科長)

  本プロジェクトは、「ナノテクノロジー」プログラムのうちナノ加工・計測技術の一環として、ナノ構造の寸法や厚さを測定する技術の高精度化及びそこに用いられる計量標準の確立を図ることにより、ナノテクノロジーの展開・発展のための知的基盤整備を推進することを目的とします。
(1) 面内方向スケール校正用標準物質創成技術の研究開発
 最小目盛り25nm以下の面内方向スケール校正用標準物質を開発し、国家長さ標準にトレーサブル(遡及性を持った)で、かつ、不確かさ0.1nm以下で校正が可能なレーザ干渉計を用いた面内方向スケール校正用標準物質校正技術を確立します。
(2) 深さ方向スケール校正用標準物質創成技術の研究開発
 深さ方向に10nm程度以下の単位構造を有する深さ方向スケール校正用標準物質を開発し、国家標準へのトレーサビリティを確保しつつ、不確かさ1分子層以下の深さ方向スケール校正用標準物質校正技術を確立します。

■3Dナノメートル評価用標準物質創成技術

3Dナノメートル評価用標準物質創成技術

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