MEMSプロジェクト

今後、比較的短期間で大きな市場が形成されると期待されるMEMS(高周波MEMS、光MEMS、センサMEMS）の実用化に必要な製造技術の開発を実施しました。

短期的アウトカム概要（5年間の追跡調査により把握した状況）

RF(高周波)スイッチ製造技術では、量産レベル加工精度1%を実現しました。また、開閉回数10億回、パッケージ損失0.09dBも達成し実用性を確認しました。光可動ミラー製造技術では、1.25nm／100μmの平坦ミラーを実現し、ミラー角度2／1000度以下も検出確認するとともに100億回以上の稼働が可能であることを確認しました。超小型MEMSセンサ製造技術では、従来品と比較して体積比1／10、コスト比1/2を実証しました。これらの成果の一部は上市に至っています。

■参画機関（太字が上市・製品化に至った企業）※順不同

• オムロン、
• オリンパス、
• 松下電工、
• 東京大学（平成16年度から）、
• 九州大学（平成16年度から）、
• 立命館大学（平成16年度から）

■追跡対象企業のPJ終了後6年目のステージ状況

• 上市：1
• 製品化：0
• 研究・開発を継続中：0
• 中止・中断：0

最終更新日：平成24年8月31日